Il micro stub di riscaldamento e raffreddamento è un substage per il Prober Shuttle (PS8) che offre la capacità di regolare la temperatura del campione. L'unità dispone di un sistema integrato di raffreddamento, riscaldamento e rilevamento per mantenere la temperatura impostata utilizzando il sistema di controllo della temperatura incluso.

Il software in dotazione consente di guidare i profili di temperatura e di registrare i punti di regolazione e i valori misurati per riferimento futuro.