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DESCRIZIONE

Lo sputter Q150T Plus è ottimizzato per l’uso con pompa turbomolecolare, e raggiunge un vuoto fino a 5 x 10-5 mbar. Questo consente lo sputtering di metalli non nobili, che hanno una granulometria inferiore adatta pertanto all’imaging ad alta risoluzione. Allo stesso modo, una dispersione inferiore del materiale consente di ottenere coperture di carbonio amorfo di elevata purezza e alta densità.

CARATTERISTICHE PRINCIPALI

  • In grado di raggiungere un vuoto di 2 x 10-5 mbar
  • Nuovo schermo capacitivo touch e swipe
  • Porta USB per aggiornamenti e download di file memorizzati
  • Possibilità di memorizzare il profilo di più utenti
  • Nuovo software che ordina i programmi per utente, in base all’uso più recente
  • 16 GB di memoria che può salvare più di 1000 programmi
  • Nuovo indicatore frontale di stato visivo a LED multicolore che indica lo stato del processo
  • Stages opzionali intercambiabili e sostituzione semplice delle teste di deposizione

Q150T Plus è disponibile in tre configurazioni:

  • Q150T S Plus – sputter di metalli non nobili quali: cromo, iridio, wolframio, ossido di indio-stagno, alluminio in aggiunta di quelli nobili (oro, oro/palladio e platino).
  • Q150T E Plus – rivestimento automatico con carbonio per applicazioni SEM come EDS e WDS. Possibilità opzionale di evaporazione di metalli e pulizia dell’asta portacampione delle griglie TEM.
  • Q150T ES Plus – sistema combinato in grado di operare sia sputter sia di carbon coated. Le teste di deposizione possono essere scambiate in pochi secondi. Possibilità opzionale di evaporazione di metalli e pulizia dell’asta portacampione delle griglie TEM.