Il Q150V Plus è lo strumento ottimale per applicazioni che necessitano alto vuoto, infatti raggiunge un vuoto finale di 1x10^-6mbar. Grazie all'uso di un sistema Penning / Pirani ad ampio raggio, è possibile lo sputtering di metalli non nobili con granulometrie ultra-sottili, che sono adatti per l'imaging ad alta risoluzione. La bassa pressione rimuove biossido di azoto e il vapore acqueo dalla camera, evitando reazioni chimiche durante il processo di sputtering, che potrebbero altrimenti causare impurità o difetti nei rivestimenti. Inoltre, una minor dispersione del materiale consente film di carbonio amorfo di elevata purezza e alta densità.

Il Q150V Plus offre tutti i vantaggi del Q150T Plus, ma con una granulometria più fine e un rivestimento più sottile, per applicazioni ad altissima risoluzione (oltre 200K ingrandimenti).

CARATTERISTICHE PRINCIPALI

• In grado di raggiungere un vuoto di 2 x 10^-6 mbar
• Nuovo schermo capacitivo touch e swipe
• Porta USB per aggiornamenti e download di file memorizzati
• Possibilità di memorizzare il profilo di più utenti
• Nuovo software che ordina i programmi per utente, in base all'uso più recente
• 16 GB di memoria che può salvare più di 1000 programmi
• Nuovo indicatore frontale di stato visivo a LED multicolore che indica lo stato del processo
• Stages opzionali intercambiabili e sostituzione semplice delle teste di deposizione

Q150V Plus è disponibile in tre configurazioni:

• Q150V S Plus - sputtering di metalli non nobili con granulometria ultra fine. Target disponibili: cromo, iridio e tutti i metalli nobili (oro, oro/palladio e platino)
• Q150V E Plus – deposizione di carbonio (asta / stringhe) per applicazioni TEM. Per rivestimento di griglie TEM con carbonio.
• Q150V ES Plus - un sistema combinato in grado di operare sia sputtering di metalli sia deposizione di carbonio. Le teste di deposizione possono essere scambiate in pochi secondi. Possibilità opzionale di evaporazione di metalli e pulizia dell’asta portacampione delle griglie TEM.