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Sputtering


La serie Q Plus è l'ultima versione della celebre gamma leader a livello internazionale di sputtering e carbon coaters della Quorum. Sempre più utilizzati nella microscopia ad alta risoluzione dove il rivestimento ultra-fine è un must-have per risultati di eccellenza.

Lo sputter coating è il metodo standard per preparare campioni non conduttivi o scarsamente conduttori prima dell'osservazione al microscopio elettronico a scansione (SEM). Quorum propone sia sputtering con pompa rotativa per il deposito di metalli nobili come oro (Au) e platino (Pt) e sputtering con pompa turbomolecolare, adatti sia per metalli nobili sia ossidabili, come il cromo ( Cr).

Per offrire un rivestimento ultra-fine ancora migliore, Quorum ha introdotto il nuovo Q150V Plus, che offre un vuoto finale di 1 x 10-6 mbar per risultati ancora superiori.

Nella gamma di spattering Quorum ha anche strumenti a camera grande per campioni con diametro fino a 200 mm. La maggior parte degli strumenti Quorum può anche essere configurata per l'evaporazione del carbonio utilizzando o rods di carbonio o fibra di carbonio tramite una semplice e veloce sostituzione della testata.

 

Sputtering Quorum: overview

Q150V Plus è adatto per applicazioni in alto vuoto. Questo nuovo sistema offre agli utenti la possibilità di produrre una grana più fine e un rivestimento più sottile per applicazioni ad altissima risoluzione (ingrandimento superiore ai 200k).

Lo sputter Q150T Plus è adatto per SEM, TEM e molte applicazioni in cui è necessario un film sottile. È disponibile in tre formati: come sputter coater, carbon coater o sia sputtering che evaporazione del carbonio in un unico sistema compatto.

Q150R Plus a pompa rotativa è adatto per applicazioni sputtering W-SEM che utilizzano metalli nobili e per campioni SEM che necessitano rivestimento in carbonio per EDS e WDS.

Per campioni più grandi, i modelli Q300T T Plus (con pompa turbomolecolare) consentono il rivestimento di un singolo campione di grande diametro fino a 8 "/ 200 mm (ad esempio un wafer) o di più campioni più piccoli con un diametro simile. Entrambi hanno una tripla testata per assicurare una deposizione uniforme del rivestimento.

Per le applicazioni a film sottile, il rivestimento sputter sequenziale Dual Target Q300T D Plus consente di depositare strati metallici consecutivi senza la necessità di interrompere il vuoto.

Il Q150 GB è una versione modulare dello sputter Q150T ES progettato per essere integrato in un vano portaoggetti.

Completa la gamma SC7620, uno sputter per applicazioni SEM compatto, disponibile con un accessorio opzionale per l'evaporazione di carbonio.

Serie 150Q Plus

La serie Q Plus è l'ultima versione della celebre gamma leader a livello internazionale di sputtering e carbon coaters della Quorum. Sempre più utilizzati nella microscopia ad alta risoluzione dove il rivestimento ultra-fine è un must-have per risultati di eccellenza.

Serie 300Q Plus

Per campioni più grandi, i modelli Q300T T Plus (con pompa turbomolecolare) consentono il rivestimento di un singolo campione di grande diametro fino a 8 "/ 200 mm (ad esempio un wafer) o di più campioni più piccoli con un diametro simile.

Quorum
SC7620

SC7620 è uno sputter per applicazioni SEM compatto.


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