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Serie 300Q Plus


La serie Q Plus è l'ultima versione della celebre gamma leader a livello internazionale di sputtering e carbon coaters della Quorum. Sempre più utilizzati nella microscopia ad alta risoluzione dove il rivestimento ultra-fine è un must-have per risultati di eccellenza.

Lo sputter coating è il metodo standard per preparare campioni non conduttivi o scarsamente conduttori prima dell'osservazione al microscopio elettronico a scansione (SEM). Quorum propone sia sputtering con pompa rotativa per il deposito di metalli nobili come oro (Au) e platino (Pt) e sputtering con pompa turbomolecolare, adatti sia per metalli nobili sia ossidabili, come il cromo ( Cr).

Per offrire un rivestimento ultra-fine ancora migliore, Quorum ha introdotto il nuovo Q150V Plus, che offre un vuoto finale di 1 x 10-6 mbar per risultati ancora superiori.

Nella gamma di spattering Quorum ha anche strumenti a camera grande per campioni con diametro fino a 200 mm. La maggior parte degli strumenti Quorum può anche essere configurata per l'evaporazione del carbonio utilizzando o rods di carbonio o fibra di carbonio tramite una semplice e veloce sostituzione della testata.

Per campioni più grandi, i modelli Q300T T Plus (con pompa turbomolecolare) consentono il rivestimento di un singolo campione di grande diametro fino a 8 "/ 200 mm (ad esempio un wafer) o di più campioni più piccoli con un diametro simile. Entrambi hanno una tripla testata per assicurare una deposizione uniforme del rivestimento.

Per le applicazioni a film sottile, il rivestimento sputter sequenziale Dual Target Q300T D Plus consente di depositare strati metallici consecutivi senza la necessità di interrompere il vuoto.

Quorum
Q300T D Plus

Sputtering Q300T D Plus con target doppio per sputtering sequenziali per campioni fino a 150 mm di diametro

Quorum
Q300T T Plus

Il Q300T T Plus è un sistema di rivestimento con pomp turbomolacolare e camera di grandi dimensioni.


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