Sistemi da terra

Evaporatore/Sputter MiniLab 026Gli Evaporatori / Sputter MiniLab 026 sono dei sistemi sottovuoto a pavimento compatti con camere “a conchiglia” di facile accesso. Ideali per la deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche, i MiniLab 026 supportano diverse tecniche di deposizione, tra cui evaporazione e sputtering.

Dotazioni Ogni sistema MiniLab 026 è dotato di una pompa turbomolecolare, posizionata su una porta ISO100 nella parte posteriore della camera a vuoto. La camera stessa è integrata nel telaio di supporto e può essere configurata con un coperchio in acciaio inossidabile a cilindro (per la classica disposizione a “conchiglia”) o con una campana di vetro, simile ai modelli storici come l’Edwards E306. Questa flessibilità consente di adattare il sistema alle specifiche esigenze del laboratorio.

Tecniche di deposizione I MiniLab 026 offrono una gamma completa di tecniche di deposizione. Tra queste, sono incluse le sorgenti di evaporazione termica e a bassa temperatura, adatte per metalli e materiali organici, nonché le sorgenti di magnetron sputtering per la deposizione di metalli e sostanze inorganiche. Le sorgenti di deposizione sono solitamente montate sulla piastra di base della camera, mentre gli stadi del substrato, sospesi dal tetto della camera, possono ospitare substrati fino a 6 pollici di diametro, con opzioni di riscaldamento, rotazione e regolazione dell’asse Z per ottimizzare il processo di deposizione.

Evaporatore/Sputter/e-beam MiniLab 125I MiniLab 125 sono sistemi di evaporazione sottovuoto progettati per portare la modularità a un livello pilota, offrendo una soluzione avanzata per la deposizione di film sottili metallici, dielettrici e/o organici. Grazie alle ampie camere in acciaio inossidabile, questi sistemi sono ideali per il rivestimento di grandi superfici, con la possibilità di integrare una vasta gamma di tecniche di deposizione. La struttura modulare dei MiniLab 125 consente di personalizzare completamente il sistema in base alle esigenze specifiche del laboratorio, garantendo una grande flessibilità operativa.