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Semiconduttori e applicazioni elettriche

Emme 3 supporta laboratori di ricerca, università e aziende nel settore dei semiconduttori e delle applicazioni elettriche con strumentazione scientifica dedicata alla preparazione, deposizione e caratterizzazione di materiali avanzati e componenti elettronici. Le soluzioni proposte consentono di sviluppare e analizzare dispositivi, superfici e film sottili, supportando attività di ricerca, innovazione tecnologica e controllo qualità nei processi produttivi. Sistemi per la deposizione sottovuoto PVD, sputter coater, plasma cleaner, glove box e strumenti per la preparazione dei campioni sono alcune delle tecnologie che Emme 3 mette a disposizione dei laboratori per lo sviluppo di semiconduttori, microcomponenti e materiali per applicazioni elettroniche avanzate.

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Sputter Carbon Coater (low vacuum)

Safematic

Applicazione per SEM a bassa risoluzioneL’unità CCU-010 LV (low vacuum), componente fondamentale del nostro sistema di deposizione a vuoto, è progettata per l’applicazione di rivestimenti sputtering e/o carbonio di elevata qualità, specificamente per analisi SEM ed EDX utilizzando SEM da banco e/o SEM termoionici. Il design modulare consente una successiva conversione del sistema in un impianto di coating ad alto vuoto.
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Sputter Carbon Coater Turbo (high vacuum)

Safematic

Applicazione per SEM ad alta risoluzioneIl CCU-010 è un sistema di sputtering ad alto vuoto e di deposizione di carbonio progettato per soddisfare i requisiti più stringenti nella preparazione di campioni. Componenti di qualità premium e un design ottimizzato garantiscono prestazioni eccellenti in applicazioni ad altissima risoluzione utilizzando ad essempio SEM FEG. Si tratta di un coater compatto, completamente automatico, per sputtering e/o deposizione di carbonio.
Il sistema di pompaggio integrato dell’unità base CCU-010 HV è completamente privo di olio e comprende una pompa turbomolecolare ad alte prestazioni e una pompa di supporto a membrana, entrambe collocate internamente, riducendo significativamente l’ingombro complessivo (assenza di pompe rotative ingombranti e tubazioni di vuoto esterne). Pur essendo di dimensioni contenute, il dispositivo offre elevate prestazioni. L’impiego di un sistema di pompaggio privo di olio minimizza contaminazioni e difetti nei film depositati. Inoltre, il dispositivo può essere mantenuto in condizioni di vuoto anche durante la fase di spegnimento, proteggendo efficacemente il sistema da polveri e umidità, assicurando così tempi di pompaggio rapidi e condizioni di vuoto ottimali per deposizioni di alta qualità.
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Atmospheric Robot

Henniker plasma

Atmospheric RobotIl sistema robotico al plasma atmosferico è un’unità versatile a 3 assi da tavolo/carrello per il trattamento automatizzato delle superfici al plasma.
È possibile scegliere tra varie opzioni di corsa XYZ (da 200 mm a 500 mm quadrati, fino a 150 mm di movimento Z). Il suo pendente programmabile di facile utilizzo memorizza 255 programmi con un massimo di 30.000 punti dati. Il motore passo-passo a 5 fasi assicura un movimento preciso e costante. La vasta gamma di I/O esterni consente un’integrazione perfetta delle apparecchiature.

Disponibile nelle versioni da tavolo e da carrello con telaio di protezione e barriera fotoelettrica di sicurezza opzionali. Semplificate il vostro processo di trattamento al plasma senza sforzo!
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Nebula

Henniker plasma

NebulaI sistemi di trattamento superficiale al plasma della gamma Nebula offrono un controllo PLC affidabile e guidato da ricette in camere a vuoto di grande formato. Configurabili e robusti per il trattamento industriale, ma flessibili per la ricerca al plasma d’avanguardia. Da 50L a 150L, con diverse opzioni di montaggio e un meccanismo a tamburo rotante ad alta capacità per un trattamento efficiente.
Ideale per la pulizia, il miglioramento dell’adesione e la bagnatura di superfici come metalli, polimeri, compositi, vetro e ceramica.
L’esclusivo ingresso opzionale per il dosaggio dei monomeri consente l’introduzione automatica di vari monomeri liquidi per superfici funzionalizzate in modo permanente tramite polimerizzazione al plasma, ampliando le possibilità di trattamento in un’unica macchina.

Migliorate i vostri trattamenti superficiali con i sistemi al plasma NEBULA.
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Nimbus

Henniker plasma

NimbusIl sistema atmosferico Nimbus comprende ugelli doppi ed è stato progettato per l’attivazione, la pulizia e la modifica delle superfici di un’ampia gamma di materiali, come polimeri, metalli, vetro e ceramica.
Anche in questo caso, grazie al funzionamento con tastiera morbida sul pannello frontale e alla compatibilità con apparecchiature di controllo esterne tramite il connettore Sub-D sul pannello posteriore, Nimbus garantisce prestazioni efficienti e semplificate nelle linee di produzione e nelle celle robotizzate.

Funzionando con una presa elettrica monofase standard e richiedendo solo aria compressa, questo controllore compatto è dotato di un’unità di regolazione del flusso d’aria interbloccata, che elimina la necessità di apparecchiature aggiuntive.
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Cirrus

Henniker plasma

CirrusCirrus è un sistema di trattamento al plasma atmosferico a singolo ugello progettato per l’attivazione, la pulizia e la modifica delle superfici di vari materiali come polimeri, metalli, vetro e ceramica.
Grazie alla tastiera morbida del pannello frontale di facile utilizzo, alla perfetta integrazione con apparecchiature di controllo esterne e alla semplicità di installazione che richiede solo una presa elettrica standard e aria compressa, Cirrus è la soluzione perfetta per le linee di produzione e le celle robotizzate.

Sfruttate i vantaggi della tecnologia al plasma atmosferico, tra cui una migliore adesione, un migliore trattamento dei materiali e una pulizia efficiente per PEEK, tecnopolimeri, PCB, metalli, ceramiche e vetro.
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Plasma Cleaner per campioni e portacampioni TEM & SEM

Henniker plasma

Plasma Cleaner per campioni e portacampioni TEM & SEMIl plasma cleaner per campioni e portacampioni TEM & SEM è completamente automatizzato e viene fornito con adattatori standard adatti ai portacampioni forniti da tutti i principali produttori di microscopi.
La potenza di uscita del plasma è completamente variabile nell’intervallo 0-100 W, garantendo un processo di pulizia molto controllabile e delicato.
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Plasma Cleaner HPT-500

Henniker plasma

Plasma Cleaner HPT-500HPT-500 è un sistema di trattamento al plasma da banco controllato da microprocessore, ideale per l’attivazione superficiale, la pulizia e la modifica di un’ampia gamma di materiali, tra cui polimeri, metalli, vetro e ceramica.

Disponibile in versioni con ingresso gas singolo o doppio e con collettore di miscelazione gas integrato, il sistema HPT-500 è in grado di gestire un’ampia gamma di gas per trattamenti ottimizzati, tra cui aria, ossigeno, idrogeno, argon, azoto e molti altri.
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Plasma Cleaner HPT-300

Henniker plasma

Plasma Cleaner HPT-300 HPT-300 è un sistema di trattamento al plasma da banco controllato da microprocessore, ideale per l’attivazione superficiale, la pulizia e la modifica di un’ampia gamma di materiali, tra cui polimeri, metalli, vetro e ceramica.

Disponibile in versioni con ingresso gas singolo o doppio e con collettore di miscelazione gas integrato, il sistema HPT-300 è in grado di gestire un’ampia gamma di gas per trattamenti ottimizzati, tra cui aria, ossigeno, idrogeno, argon, azoto e molti altri.
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Plasma Cleaner HPT-200

Henniker plasma

Plasma Cleaner HPT-200 HPT-200 è un sistema di trattamento al plasma da banco controllato da microprocessore, ideale per l’attivazione superficiale, la pulizia e la modifica di un’ampia gamma di materiali, tra cui polimeri, metalli, vetro e ceramica.

Disponibile in versione con ingresso gas fisso, singolo o doppio e con collettore di miscelazione gas integrato, il sistema HPT-200 è in grado di gestire un’ampia gamma di gas per trattamenti ottimizzati, tra cui aria, ossigeno, idrogeno, argon, azoto e molti altri.
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Plasma Cleaner HPT-100

Henniker plasma

Plasma Cleaner HPT-100 HPT-100 è un sistema di trattamento al plasma da banco controllato da microprocessore, ideale per l’attivazione superficiale, la pulizia e la modifica di un’ampia gamma di materiali, tra cui polimeri, metalli, vetro e ceramica.

Disponibile in versione con ingresso gas fisso, singolo o doppio e con collettore di miscelazione gas integrato, il sistema HPT-100 è in grado di gestire un’ampia gamma di gas per trattamenti ottimizzati, tra cui aria, ossigeno, idrogeno, argon, azoto e molti altri.
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Plasma Cleaner HPT-100 FI

Henniker plasma

Plasma Cleaner HPT-100 FI L’HPT-100 FI è un sistema di trattamento al plasma da banco controllato da microprocessore dedicato alla pulizia e all’attivazione superficiale di un’ampia gamma di materiali, tra cui polimeri, metalli, vetro e ceramica,offrendo proprietà di adesione ottimali di materiali altrimenti difficili da legare.

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