Safematic

Applicazione per SEM ad alta risoluzioneIl CCU-010 è un sistema di sputtering ad alto vuoto e di deposizione di carbonio progettato per soddisfare i requisiti più stringenti nella preparazione di campioni. Componenti di qualità premium e un design ottimizzato garantiscono prestazioni eccellenti in applicazioni ad altissima risoluzione utilizzando ad essempio SEM FEG. Si tratta di un coater compatto, completamente automatico, per sputtering e/o deposizione di carbonio.
Il sistema di pompaggio integrato dell’unità base CCU-010 HV è completamente privo di olio e comprende una pompa turbomolecolare ad alte prestazioni e una pompa di supporto a membrana, entrambe collocate internamente, riducendo significativamente l’ingombro complessivo (assenza di pompe rotative ingombranti e tubazioni di vuoto esterne). Pur essendo di dimensioni contenute, il dispositivo offre elevate prestazioni. L’impiego di un sistema di pompaggio privo di olio minimizza contaminazioni e difetti nei film depositati. Inoltre, il dispositivo può essere mantenuto in condizioni di vuoto anche durante la fase di spegnimento, proteggendo efficacemente il sistema da polveri e umidità, assicurando così tempi di pompaggio rapidi e condizioni di vuoto ottimali per deposizioni di alta qualità.