MM3A-LMPIl micromanipolatore MM3A-LMP è un’alternativa economica e flessibile ai tradizionali strumenti di ispezione a semiconduttore. Le misurazioni elettriche richiedono che i probe abbiano una bassa deriva, un’elevata precisione, un ampio campo di lavoro e anche che siano insensibili alle condizioni ambientali.
L’MM3A-LMP supera i probes convenzionali in tutti questi aspetti.
È progettato per misurazioni su tecnologia a 45 nm, 65 nm, 90 nm e superiori e offre stabilità insuperabile, estrema precisione e flessibilità per consentire di creare la propria stazione di prova.
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Per una maggiore precisione, il substage può essere dotato di encoder di posizione con ripetibilità di 50 nm. Altre opzioni sono la possibilità di aggiungere un Asse Z opzionale con un intervallo di corsa di 3 mm, per consentire un posizionamento tridimensionale preciso, oppure la possibilità di sostituirlo con uno stadio di riscaldamento che può raggiungere temperature fino a 450°C, ideale per applicazioni che richiedono un controllo termico diretto sul campione.
La HIP WorkStation è un accessorio per microscopia SEM utile in esperimenti che richiedono una combinazione di manipolazione, riscaldamento e illuminazione. -
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