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Applicazione per SEM ad alta risoluzioneIl CCU-010 è un sistema di sputtering ad alto vuoto e di deposizione di carbonio progettato per soddisfare i requisiti più stringenti nella preparazione di campioni. Componenti di qualità premium e un design ottimizzato garantiscono prestazioni eccellenti in applicazioni ad altissima risoluzione utilizzando ad essempio SEM FEG. Si tratta di un coater compatto, completamente automatico, per sputtering e/o deposizione di carbonio.
Il sistema di pompaggio integrato dell’unità base CCU-010 HV è completamente privo di olio e comprende una pompa turbomolecolare ad alte prestazioni e una pompa di supporto a membrana, entrambe collocate internamente, riducendo significativamente l’ingombro complessivo (assenza di pompe rotative ingombranti e tubazioni di vuoto esterne). Pur essendo di dimensioni contenute, il dispositivo offre elevate prestazioni. L’impiego di un sistema di pompaggio privo di olio minimizza contaminazioni e difetti nei film depositati. Inoltre, il dispositivo può essere mantenuto in condizioni di vuoto anche durante la fase di spegnimento, proteggendo efficacemente il sistema da polveri e umidità, assicurando così tempi di pompaggio rapidi e condizioni di vuoto ottimali per deposizioni di alta qualità.
Un coater per sputtering e/o deposizione di carbonio integrato con opzioni per trattamenti plasma? Il sistema da banco CCU-010 consente questa versatilità. La semplice sostituzione della testina di processo permette di configurare rapidamente l’unità per le diverse applicazioni richieste. L’apparecchiatura può essere adattata alle specifiche esigenze operative o aggiornata successivamente per ampliarne le funzionalità. Un monitor di spessore film posizionato nelle immediate vicinanze del campione è fornito di serie, garantendo un controllo preciso dello spessore di film metallici e carboniosi durante la deposizione.
L’impiego di materiali e componenti di elevata qualità, insieme a soluzioni tecnologiche innovative, permette di ottenere tempi di processo significativamente ridotti. Le ricette di deposizione possono essere create e gestite tramite un’interfaccia utente avanzata, mentre la modalità automatica assicura riproducibilità e affidabilità nella produzione di film sottili.
Il sistema di controllo gas, ottimizzato per operare in alto vuoto, consente una riduzione significativa del consumo del gas di processo. Grazie a un diametro target di 54 mm e a un’elevata efficienza di utilizzo del target, si ottimizza il consumo di materiali di consumo.
L’unità è progettata per ridurre al minimo l’ingombro e ottimizzare l’uso dello spazio in laboratorio. Il peso ridotto contribuisce a contenere i costi di trasporto. Le connessioni rapide standard ISO-KF a flangia piccola assicurano un’integrazione semplice e sicura con impianti di vuoto esistenti.
Il concetto plug-and-play consente un avvio immediato senza necessità di interventi tecnici complessi: è sufficiente collegare alimentazione elettrica e gas di processo. L’interfaccia di servizio USB integrata permette al tecnico di effettuare diagnostiche rapide e precise. La struttura modulare facilita la sostituzione mirata di componenti guasti, riducendo tempi di fermo macchina.
Gamma Safematic CCU-010: sputter coater, carbon coater, gold coater, rivestitore da banco, mini sputter coater, sistema di rivestimento a vuoto, rivestitore sputtering compatto.
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