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Evaporatore NanoPVD-T15AIl nanoPVD-T15A è un evaporatore da banco compatto, progettato per l’evaporazione di metalli e materiali organici con prestazioni elevate ed efficienza ottimale. Ideale per applicazioni di ricerca OLED, OPV e OFET, offre una soluzione avanzata per la deposizione a bassa temperatura (LTE) e l’evaporazione termica.
Il nanoPVD-T15A può essere equipaggiato con sorgenti di:
- Evaporazione a bassa temperatura (LTE): Progettate per un controllo preciso durante la deposizione di materiali organici volatili, grazie alla loro bassa massa termica.
- Evaporazione resistiva standard: Sorgenti TE1 schermate a scatola, ideali per la deposizione di metalli, garantendo un'elevata efficienza e riducendo la contaminazione incrociata.
La camera alta offre un rivestimento uniforme, mentre l'accesso tramite coperchio incernierato consente di lavorare con substrati fino a 4" di diametro.
Dotato di un sistema di pompaggio turbomolecolare per pressioni di base elevate, il nanoPVD-T15A offre un controllo automatizzato tramite HMI touchscreen e dispone di funzioni di sicurezza complete. Con costi operativi ridotti e manutenzione semplificata, rappresenta una scelta versatile per le esigenze di Ricerca e Sviluppo di livello mondiale.
- Configurazione da banco
- Fonti di evaporazione di sostanze organiche e metalli
- Camera ad alto rapporto d’aspetto per un rivestimento uniforme
- Funzionamento completamente automatico tramite HMI touchscreen
- Definisci/salva più ricette di processo
- Substrati fino a 4 pollici di diametro
- Pressioni di base <5 × 10-7 mbar
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete
- Prestazioni comprovate
- Pompa per prevuoto a secco
- Sfiato rapido della camera
- Controllo automatico della pressione ad alta risoluzione
- Fino a 4 fonti LTE per i prodotti organici
- Fino a 2 fonti di evaporazione per metalli
- Fase di riscaldamento del substrato a 500 °C
- Rotazione del substrato, Z-shift e persiane
- Testa del sensore in cristallo di quarzo
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