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Applicazione per SEM a bassa risoluzioneL’unità CCU-010 LV (low vacuum), componente fondamentale del nostro sistema di deposizione a vuoto, è progettata per l’applicazione di rivestimenti sputtering e/o carbonio di elevata qualità, specificamente per analisi SEM ed EDX utilizzando SEM da banco e/o SEM termoionici. Il design modulare consente una successiva conversione del sistema in un impianto di coating ad alto vuoto.
Un rivestitore sputtering e/o per carbonio con funzionalità di trattamento plasma integrato in un’unica unità? Il sistema da banco CCU-010 LV lo rende possibile. La sostituzione rapida della testina di processo permette la riconfigurazione dell’unità per diverse applicazioni, consentendo l’adattamento alle specifiche operative o l’ampliamento funzionale in fase successiva. Il monitor di spessore film, posizionato in prossimità del campione, è fornito di serie e garantisce un controllo accurato dello spessore di film metallici e carboniosi durante la deposizione.
L’utilizzo di componenti e materiali di qualità elevata, associato a soluzioni tecnologiche innovative, permette di ottenere tempi di processo significativamente ridotti. La gestione delle ricette avviene tramite un’interfaccia utente avanzata, mentre la modalità automatica assicura ripetibilità e affidabilità nella deposizione di film sottili.
Il sistema di controllo gas, ottimizzato per il vuoto fine, riduce il consumo di gas di processo, migliorando l’efficienza operativa. Il target con diametro di 54 mm e l’elevata utilizzazione garantiscono un consumo ottimale dei materiali di consumo, riducendo i costi operativi.
L’unità è progettata per occupare uno spazio minimo in laboratorio, con peso ridotto per facilitare il trasporto e l’installazione. Le connessioni rapida standardizzate ISO-KF consentono un’integrazione semplice e affidabile con sistemi di vuoto esistenti.
Il concetto plug-and-play consente l’avvio immediato senza necessità di interventi specialistici: basta collegare alimentazione elettrica e gas di processo. L’interfaccia di servizio USB integrata permette un’analisi rapida delle anomalie da parte del personale tecnico. La struttura modulare facilita la sostituzione mirata dei componenti difettosi, minimizzando i tempi di fermo macchina.
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