Ambientale

Evaporatore/Sputter MiniLab 026Gli Evaporatori / Sputter MiniLab 026 sono dei sistemi sottovuoto a pavimento compatti con camere “a conchiglia” di facile accesso. Ideali per la deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche, i MiniLab 026 supportano diverse tecniche di deposizione, tra cui evaporazione e sputtering.

Dotazioni Ogni sistema MiniLab 026 è dotato di una pompa turbomolecolare, posizionata su una porta ISO100 nella parte posteriore della camera a vuoto. La camera stessa è integrata nel telaio di supporto e può essere configurata con un coperchio in acciaio inossidabile a cilindro (per la classica disposizione a “conchiglia”) o con una campana di vetro, simile ai modelli storici come l’Edwards E306. Questa flessibilità consente di adattare il sistema alle specifiche esigenze del laboratorio.

Tecniche di deposizione I MiniLab 026 offrono una gamma completa di tecniche di deposizione. Tra queste, sono incluse le sorgenti di evaporazione termica e a bassa temperatura, adatte per metalli e materiali organici, nonché le sorgenti di magnetron sputtering per la deposizione di metalli e sostanze inorganiche. Le sorgenti di deposizione sono solitamente montate sulla piastra di base della camera, mentre gli stadi del substrato, sospesi dal tetto della camera, possono ospitare substrati fino a 6 pollici di diametro, con opzioni di riscaldamento, rotazione e regolazione dell’asse Z per ottimizzare il processo di deposizione.