NanoEMIl NanoEM è il primo strumento di rivestimento per microscopia elettronica progettato per offrire funzionalità di livello di ricerca in un formato compatto da banco. Include una camera in acciaio inossidabile, sistemi di pompaggio turbomolecolare, magnetron circolari raffreddati ad acqua per un funzionamento continuo e un alimentatore di precisione fino a 300 W, garantendo prestazioni elevate e affidabilità.
Settori
Ottimizzato per la preparazione di campioni TEM/SEM, il nanoEM offre velocità e facilità d’uso per il rivestimento di routine con materiali come oro e carbonio. Grazie ai componenti di fascia alta, supporta anche applicazioni avanzate, rendendolo una soluzione versatile per la microscopia elettronica.
- Rivestimento per microscopia elettronica research-grade
- Unità compatta da banco
- SEM stub/griglia TEM/supporti wafer
- Sorgenti di sputtering magnetron fino a 2 × 2”
- Obiettivi di sputtering standard del settor
- Pompaggio turbomolecolare a <5 × 10–7 mbar
- Gas di processo controllato da MFC
- Alimentatore CC a uscita variabile, fino a 300 W
- Funzionamento completamente automatico delle ricette tramite HMI touchscreen
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete Compatibile con camere bianche
- Prestazioni comprovate
- Oblò della camera
- Solo pompa di prevuoto
- Pompaggio a secco
- Controllo automatico della pressione
- Shutter
- Elettrodo ad incandescenza al plasma
- Rotazione e inclinazione dello stage
- Monitoraggio del processo della testa del sensore a cristalli di quarzo
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I substrati sono rivolti verso l’alto e posizionati su piastre superiori, situate centralmente all’interno di una camera ad alto vuoto in acciaio inossidabile, dotata di schermatura termica e di una finestra con shutter. Il riscaldamento è generato da una fonte di calore collocata sotto la piastra, che consente di raggiungere temperature fino a 1000 °C, a seconda della tecnologia di riscaldamento utilizzata.
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