Evaporatore/Sputter/e-beam MiniLab 125

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  Evaporatore/Sputter/e-beam MiniLab 080I sistemi MiniLab 080 sono progettati per applicazioni di deposizione sottovuoto che richiedono prestazioni elevate e una grande versatilità. Con una camera alta ideale per le tecniche di evaporazione termica, LTE (Low Temperature Evaporation) ed e-beam, questi sistemi sono perfetti per situazioni in cui sono necessarie distanze di lavoro più lunghe, al fine di garantire un’uniformità ottimale del rivestimento. La configurazione della camera consente angoli di incidenza vicini a 90°, rendendoli ideali per le applicazioni di lift-off.

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  Evaporatore/Sputter/e-beam MiniLab 060

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  Evaporatore/Sputter/e-beam MiniLab 060Dotati di una camera a scatola con caricamento frontale, questi strumenti sono ideali per una varietà di tecniche di deposizione, tra cui sputtering magnetron multi-sorgente, evaporazione termica ed evaporazione a fascio elettronico (e-beam).

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  Evaporatore/Sputter/e-beam MiniLab 090

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  Evaporatore/Sputter/e-beam MiniLab 090I sistemi MiniLab 090 offrono una soluzione avanzata per la deposizione PVD (Physical Vapour Deposition). Questi sistemi da pavimento sono l’ideale per la deposizione di metalli, dielettrici e materiali organici in ambienti controllati. Questi sistemi da pavimento sono compatibili con glovebox, per soddisfare le esigenze di applicazioni sensibili all’atmosfera. La camera alta in acciaio inossidabile è progettata per garantire elevate prestazioni nell’evaporazione, con la possibilità di eseguire anche sputtering con magnetron per una maggiore versatilità.

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  Evaporatore/Sputter MiniLab 026

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  Evaporatore/Sputter MiniLab 026Gli Evaporatori / Sputter MiniLab 026 sono dei sistemi sottovuoto a pavimento compatti con camere “a conchiglia” di facile accesso. Ideali per la deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche, i MiniLab 026 supportano diverse tecniche di deposizione, tra cui evaporazione e sputtering.

  Dotazioni Ogni sistema MiniLab 026 è dotato di una pompa turbomolecolare, posizionata su una porta ISO100 nella parte posteriore della camera a vuoto. La camera stessa è integrata nel telaio di supporto e può essere configurata con un coperchio in acciaio inossidabile a cilindro (per la classica disposizione a “conchiglia”) o con una campana di vetro, simile ai modelli storici come l’Edwards E306. Questa flessibilità consente di adattare il sistema alle specifiche esigenze del laboratorio.

  Tecniche di deposizione I MiniLab 026 offrono una gamma completa di tecniche di deposizione. Tra queste, sono incluse le sorgenti di evaporazione termica e a bassa temperatura, adatte per metalli e materiali organici, nonché le sorgenti di magnetron sputtering per la deposizione di metalli e sostanze inorganiche. Le sorgenti di deposizione sono solitamente montate sulla piastra di base della camera, mentre gli stadi del substrato, sospesi dal tetto della camera, possono ospitare substrati fino a 6 pollici di diametro, con opzioni di riscaldamento, rotazione e regolazione dell’asse Z per ottimizzare il processo di deposizione.