Evaporatore/ Sputter/ e-beam MiniLab090

I sistemi MiniLab 090 sono compatibili con glovebox per applicazioni sensibili all’atmosfera. Le camere alte sono ideali per l’evaporazione ad alte prestazioni, ma è disponibile anche lo sputtering con magnetron. 

Tecniche 

E-beam evaporazione | Deposizione glovebox | Sistemi integrati con glovebox| Deposizione sottovuoto di nanoparticelle | Evaporazione termica 

I sistemi MiniLab 090 sono strumenti PVD da pavimento per la deposizione di metalli, dielettrici e/o organici. Tutti i sistemi contengono una camera in acciaio inossidabile di tipo scatolato con porte anteriori e posteriori per l’integrazione con glovebox (consente sia l’accesso attraverso il cassetto portaoggetti che l’accesso di servizio esterno). 

Un sistema di pompaggio turbomolecolare è standard, per pressioni di base in alto vuoto migliori di 5 × 10-7 mbar. La configurazione esatta è estremamente flessibile e dipende dai budget e dalle applicazioni dei clienti. Le configurazioni vanno da un sistema di evaporazione termica ad azionamento manuale fino a uno strumento multi-tecnica con controllo di processo completamente automatizzato. 

Caratteristiche principali 

• Design modulare 
• Sportello anteriore scorrevole per il caricamento nel vano portaoggetti 
• Porta posteriore per accesso di servizio 
• Sistemi di pompaggio turbomolecolari o criogenici 
• Pressioni di base <5 × 10-7 mbar 
• Deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche 
• Substrati di diametro fino a 11”. 
• HMI/PC touchscreen per il controllo del sistema 
• Attrezzato per una facile manutenzione 
• Funzioni di sicurezza complete e interblocchi 
• Compatibile con camere bianche 

Opzioni 

• Pompaggio: pompe ad alto vuoto turbomolecolari o criogeniche, pompe rotative o a coclea 
• Gas/pressione: controllo manuale o automatico tramite MFC e valvole a farfalla 
• Load-lock: campione singolo e multiplo 
• Stage: rotazione, riscaldamento, raffreddamento, spostamento Z, polarizzazione e planetario 
• Shutter: Sorgente e campione, pneumatiche o motorizzate 
• Funzionamento: Manuale o automatico tramite pannelli frontali, HMI touchscreen o PC 
• Processo: testine del sensore in cristallo di quarzo per il monitoraggio della frequenza/spessore o il controllo del ciclo di feedback