I sistemi MiniLab 090 sono compatibili con glovebox per applicazioni sensibili all’atmosfera. Le camere alte sono ideali per l’evaporazione ad alte prestazioni, ma è disponibile anche lo sputtering con magnetron.
Tecniche
E-beam evaporazione | Deposizione glovebox | Sistemi integrati con glovebox| Deposizione sottovuoto di nanoparticelle | Evaporazione termica
I sistemi MiniLab 090 sono strumenti PVD da pavimento per la deposizione di metalli, dielettrici e/o organici. Tutti i sistemi contengono una camera in acciaio inossidabile di tipo scatolato con porte anteriori e posteriori per l’integrazione con glovebox (consente sia l’accesso attraverso il cassetto portaoggetti che l’accesso di servizio esterno).
Un sistema di pompaggio turbomolecolare è standard, per pressioni di base in alto vuoto migliori di 5 × 10-7 mbar. La configurazione esatta è estremamente flessibile e dipende dai budget e dalle applicazioni dei clienti. Le configurazioni vanno da un sistema di evaporazione termica ad azionamento manuale fino a uno strumento multi-tecnica con controllo di processo completamente automatizzato.
Caratteristiche principali
- Design modulare
- Sportello anteriore scorrevole per il caricamento nel vano portaoggetti
- Porta posteriore per accesso di servizio
- Sistemi di pompaggio turbomolecolari o criogenici
- Pressioni di base <5 × 10-7 mbar
- Deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche
- Substrati di diametro fino a 11”.
- HMI/PC touchscreen per il controllo del sistema
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete e interblocchi
- Compatibile con camere bianche
Opzioni
- Pompaggio: pompe ad alto vuoto turbomolecolari o criogeniche, pompe rotative o a coclea
- Gas/pressione: controllo manuale o automatico tramite MFC e valvole a farfalla
- Load-lock: campione singolo e multiplo
- Stage: rotazione, riscaldamento, raffreddamento, spostamento Z, polarizzazione e planetario
- Shutter: Sorgente e campione, pneumatiche o motorizzate
- Funzionamento: Manuale o automatico tramite pannelli frontali, HMI touchscreen o PC
- Processo: testine del sensore in cristallo di quarzo per il monitoraggio della frequenza/spessore o il controllo del ciclo di feedback
