Il nanoPVD-S10A-WA è una configurazione Wide-Area che estende le capacità del nanoPVD-S10A per consentire il rivestimento uniforme di diametri del substrato fino a 8″, in un pacchetto da banco. Lo sputtering di magnetron RF e DC consente la deposizione sia di metalli che di materiali isolanti.
Tecniche
Deposizione fisica da vapore
Pur mantenendo lo stesso design della camera, la versione Wide-Area del nanoPVD-S10A contiene sorgenti di magnetron sputtering orientate direttamente verso l’alto verso i piani del substrato. Questa disposizione in combinazione con la rotazione del substrato e le lastre di esposizione con orifizi appositamente progettati consente il rivestimento di substrati fino a 8″ di diametro per applicazioni in cui le specifiche di uniformità strette non sono critiche.
Come il nanoPVD-S10A, i magnetron sono raffreddati ad acqua per un funzionamento prolungato ad alta potenza e accettano obiettivi standard del settore. Inoltre, le unità nanoPVD-S10A-WA sono dotate di tutte le caratteristiche interessanti della gamma nanoPVD, compresi i sistemi di pompaggio turbomolecolari, il funzionamento automatizzato basato su ricette tramite HMI touchscreen e design compatti per l’installazione su banco.
Caratteristiche principali
- Configurazione specifica per l’applicazione per nanoPVD-S10A
- Rivestimento uniforme per substrati fino a 8” di diametro
- Sorgenti di magnetron sputtering raffreddate ad acqua per target da 2″ standard del settore
- Gas di processo controllati da MFC
- Alimentatori DC e/o RF
- Funzionamento completamente automatico tramite HMI touchscreen
- Definisci/salva più ricette di processo
- Pressioni di base <5 × 10-7 mbar
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete
- Compatibile con camere bianche
- Prestazioni comprovate
Opzioni
- Pompa per prevuoto a secco
- Sfiato rapido della camera
- Controllo automatico della pressione ad alta risoluzione
- Gas di processo aggiuntivi
- Fino a 2 sorgenti di magnetron sputtering
- Alimentatori RF e/o DC
- Tecnologia di commutazione alimentazione/sorgente SputterSwitch
- Testa del sensore in cristallo di quarzo
