Metalli ad alte prestazioni, evaporazione organica in pacchetti compatti per ubicazione da banco. Prestazioni superiori ed efficienti e ideali per la ricerca OLED, OPV e OFET. 

Tecniche 

Evaporazione a bassa temperatura | Evaporazione termica 

Il modello T15A può essere dotato di evaporazione a bassa temperatura (LTE) e sorgenti di evaporazione resistiva standard per la deposizione di sostanze organiche e metalli, rispettivamente. 

Le fonti LTE sono a bassa massa termica per un migliore controllo durante l’evaporazione di materiali organici volatili, mentre le fonti di metalli sono i nostri modelli TE1 schermati a scatola per una deposizione efficiente e una ridotta contaminazione incrociata. 

L’accesso alla camera avviene tramite un coperchio incernierato, che si apre per rivelare un palco adatto a contenere substrati fino a 4″ di diametro. La camera è alta, consentendo un rivestimento ad alta uniformità tramite tecniche di evaporazione. 

Le unità sono facili da controllare tramite un’interfaccia HMI touchscreen, di semplice manutenzione, hanno bassi costi di esercizio e sono dotate di una gamma completa di funzioni di sicurezza. 

Con un sistema di pompaggio turbomolecolare, pressioni di base ad alto vuoto, controllo automatizzato diretto tramite un HMI touchscreen e una gamma di opzioni per una configurazione flessibile, il nanoPVD-T15A è una soluzione versatile ed efficiente per applicazioni di ricerca e sviluppo di livello mondiale. 

Caratteristiche principali 

• Configurazione da banco 
• Fonti di evaporazione di sostanze organiche e metalli 
• Camera ad alto rapporto d’aspetto per un rivestimento uniforme 
• Funzionamento completamente automatico tramite HMI touchscreen 
• Definisci/salva più ricette di processo 
• Substrati fino a 4 pollici di diametro 
• Pressioni di base <5 × 10-7 mbar 
• Attrezzato per una facile manutenzione 
• Funzioni di sicurezza complete 
• Prestazioni comprovate 

Opzioni 

• Pompa per prevuoto a secco 
• Sfiato rapido della camera 
• Controllo automatico della pressione ad alta risoluzione 
• Fino a 4 fonti LTE per i prodotti organici 
• Fino a 2 fonti di evaporazione per metalli 
• Fase di riscaldamento del substrato a 500 °C 
• Rotazione del substrato, Z-shift e persiane 
• Testa del sensore in cristallo di quarzo