Quorum

K850WM


Il K850WM è uno strumento compatto da banco progettato per operare il CPD di un wafer completo da 150 mm. Un comodo supporto per wafer consente un rapido trasferimento e garantisce che non si verifichi una pre-reazione.

Caratteristiche:

  • Camera diametro 170 mm, quindi di dimensioni ottimizzate per l'asciugatura di wafer/MEMS
  • Camera verticale con caricamento dall'alto e drenaggio inferiore
  • Riscaldamento termoelettrico che garantisce il controllo accurato della temperatura
  • Controllo preciso della riduzione della pressione: un controllo preciso della decompressione evita potenziali danni ai campioni a causa della variazione incontrollato della pressione
  • Monitoraggio e controllo della temperatura con protezione termica
  • Monitoraggio della pressione con protezione di sicurezza per sovrappressione

Settori

Ambientale

Bioscienze

Scienze dei materiali

Microscopia Elettronica

Minerali


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