Il SuperFlat AFM combina la potenza di SEM e AFM. Le informazioni sulle dimensioni laterali e sul materiale dall’ispezione in situ possono essere integrate da precise informazioni topografiche e di attrito AFM.
La disponibilità senza sforzo di questi due insiemi di dati è unica per un tale sistema e apre nuove strade di indagine e caratterizzazione.
