Gli strumenti MiniLab 125 portano il concetto modulare a livello pilota. Le ampie camere consentono set di componenti di dimensioni maggiori per il rivestimento di grandi aree e una gamma di opzioni load-lock consentono operazioni ad alta produttività. Allo stesso tempo, i sistemi sono completamente personalizzabili. 

Tecniche 

E-beam evaporazione | Evaporazione a bassa temperatura | Magnetron Sputterin| Deposizione sottovuoto di nanoparticelle | Evaporazione termica 

I sistemi MiniLab 125 sono evaporatori sottovuoto a pavimento per la deposizione di film sottili metallici, dielettrici e/o organici. Tutti i sistemi contengono una camera in acciaio inossidabile di tipo scatolare con una porta frontale per il carico/scarico. I grandi volumi della fotocamera consentono grandi sorgenti per il rivestimento su scala pilota o tecniche multiple per uno strumento di ricerca e sviluppo flessibile. Sono disponibili sistemi dotati di tutte le principali tecniche di deposizione e stage personalizzati per substrati specifici. 

I sistemi di pompaggio turbomolecolari sono standard, per espressione di base in alto vuoto superiori a 5 × 10-7 mbar. La configurazione esatta è estremamente flessibile e dipende dal budget e dalle applicazioni del cliente. 

Caratteristiche principali 

• Design modulare 
• Sportello anteriore scorrevole per il caricamento nel vano portaoggetti 
• Porta posteriore per accesso di servizio 
• Sistemi turbomolecolari o di criopompaggio 
• Pressioni di base <5 × 10-7 mbar 
• Deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche 
• Substrati di diametro fino a 11”. 
• HMI/PC touchscreen per il controllo del sistema 
• Attrezzato per una facile manutenzione 
• Funzioni di sicurezza complete e interblocchi 
• Compatibile con camere bianche 

Opzioni 

• Pompaggio: pompe ad alto vuoto turbomolecolari o criogeniche, pompe rotative o a coclea 
• Gas/pressione: controllo manuale o automatico tramite MFC e valvole a farfalla 
• Load-lock: campione singolo e multiplo 
• Stage: rotazione, riscaldamento, raffreddamento, spostamento Z, polarizzazione e planetario 
• Shutter: Sorgente e sunstrato, pneumatiche o motorizzate 
• Funzionamento: Manuale o automatico tramite pannelli frontali, HMI touchscreen o PC 
• Processo: testine del sensore in cristallo di quarzo per il monitoraggio della frequenza/spessore o il controllo del ciclo di feedback